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D07-7CM氣體質(zhì)量流量計,氮氣氫氣質(zhì)量流量控制器流量量程：5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm產(chǎn)品精度：±1.5％F.S.響應(yīng)時間：≤10sec
D07-7CM氣體質(zhì)量流量計,氮氣氫氣質(zhì)量流量控制器
氣體質(zhì)量流量計適用于對氣體質(zhì)量進(jìn)行精密測量。它將測量的氣體質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體體積流量或標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體質(zhì)量流量。
氣體質(zhì)量流量計具有低功耗、精度高、壽命長、重復(fù)性好、流量量程寬、穩(wěn)定可靠等特點。用測試氣體質(zhì)量的方法對氣體進(jìn)行流量測量，目前在國內(nèi)處于地位。
D07-7CM氣體質(zhì)量流量計,氮氣氫氣質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)：
| 產(chǎn)品型號 | D07-7CM |
|---|---|
| 產(chǎn)品類型 | 普通型 |
| 流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm |
| 產(chǎn)品精度 | ±1.5％F.S. |
| 重復(fù)精度 | ±0.2% FS |
| 線性 | ±1％F.S. |
| 響應(yīng)時間 | ≤10sec |
| 工作溫度范圍 | (5~45)°C |
| 耐壓 | 3MPa |
| 密封材料 | 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene |
| 輸入輸出信號 | (0~5)VDC |
| 電源 | ±15V |
| 閥類型 | 無閥 |
| 溫度系數(shù) | - 無 - |
| 零點飄移指標(biāo) | - 無 - |
| 電氣連接 | D sub 15 pins Female |
| 工作壓差范圍 | ＜0.01 MPa |
| 漏率 | 1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He） |
| 標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | 雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ3,雙卡套1/8”,φ4(內(nèi))×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6(內(nèi))×1軟管接頭 |
| 表面化學(xué)成分 | - 無 - |
| 表面粗糙度 | - 無 - |
| 抗電磁干擾 | CE |
| 重量 | 0.92 Kg |
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